仪器名称: 超声喷涂设备
| 仪器编号: 2023010783 |
| 仪器型号: HZ-AC300 |
| 购置日期: 2023-01-10 |
| 单价(万元): 105.50 |
| 厂家: 苏州海致三维科技有限公司 |
| 技术指标: 喷头雾化频率：80KHz和100KHz；适用溶液粘度小于40cp；涂覆宽幅：2mm-50mm；XYZ三轴伺服运动系统，重复定位精度：±0.001mm；工作有效面积：350*350mm；最大涂覆运动速度：150mm/s；集成固化灯，波长365nm |
| 仪器介绍: |
| 存放位置：东南大学微纳系统国际创新中心 |
| 保管单位：集成电路学院 |
| 管理负责人：张东煜 |
| 共享: 预约仪器 |
| 预约须知: |
| 收费参考标准: |
| 主要功能: 实现高均匀度和高精度的涂层制备 |
| 仪器设备开放时间: 详情请查看仪器预约表 |