仪器名称: 全自动三靶磁控溅射仪
| 仪器编号: 2022011367 |
| 仪器型号: VCT300 |
| 购置日期: 2022-12-13 |
| 单价(万元): 15.80 |
| 厂家: 沈阳鹏程真空技术有限责任公司 |
| 技术指标: 极限真空度:≤6.0x10-5Pa |
| 仪器介绍: |
| 存放位置：无锡校区三江楼B座305室 |
| 保管单位：集成电路学院 |
| 管理负责人：李力一 |
| 共享: 预约仪器 |
| 预约须知: |
| 收费参考标准: |
| 主要功能: （1)PVD金属/氧化物薄膜沉积；(2)溅射室配套3个靶位，每个靶位可放置直径50 mm靶材供溅射,RF/DC/MF兼容（2）样品基板加热室温-500 oC,控温精度1 oC,样品台可旋转（3）1台数字式500W直流电源和1台1000V负脉冲偏压电源。可将样品台置负偏压。 |
| 仪器设备开放时间: 详情请查看仪器预约表 |