仪器名称: 桌面型单源蒸发镀膜仪
| 仪器编号: 2022007760 |
| 仪器型号: CY-EVP170S-1S-A |
| 购置日期: 2022-09-20 |
| 单价(万元): 11.35 |
| 厂家: 郑州成越科学仪器有限公司 |
| 技术指标: 最大样品直径60 mm，膜厚实时检测分辨率：0.0136Å（铝），膜厚准确度：±0.5%，测量速度：100ms-1s/次，可设置测量范围：500000Å（铝）；分子泵极限真空5.0E-4Pa。 |
| 仪器介绍: |
| 存放位置：三江楼B座305室 |
| 保管单位：集成电路学院 |
| 管理负责人：李力一 |
| 共享: 预约仪器 |
| 预约须知: |
| 收费参考标准: |
| 主要功能: 金属、非金属薄膜沉积 |
| 仪器设备开放时间: 详情请查看仪器预约表 |