仪器名称: 棱镜耦合仪
| 仪器编号: 11012686 |
| 仪器型号: 2010/M |
| 购置日期: 2011-11-09 |
| 单价(万元): 46.437 |
| 厂家: |
| 技术指标: 折射率准确度: ±0.0005?;?折射率分辨率< ±0.0005;?厚度精度:±（0.5%+50?）;厚度分辨率:±0.3%?;?折射率测量范围:1.0-3.35;?操作波长:632.8nm,1310nm,1550nm以及其他可见光/近红外光。 |
| 仪器介绍: |
| 存放位置：金陵院210-2 |
| 保管单位：集成电路学院 |
| 管理负责人：张若虎 |
| 共享: 不可用 |
| 预约须知: |
| 收费参考标准: |
| 主要功能: 薄膜折射率、厚度测试 |