东南大学贵重精密仪器共享系统
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基本信息
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仪器名称
仪器编号
仪器型号
存放地址
生产厂家
仪器名称:
键合机
仪器编号:
20050867
仪器型号:
EVG610/EVG501
购置日期:
2005-03-01
单价(万元):
275.30
厂家:
EV Group
技术指标:
4英寸 对准精度≥2um 具备真空
仪器介绍:
存放位置：
工艺
保管单位：
集成电路学院
管理负责人：
尚金堂
共享:
预约仪器
预约须知:
收费参考标准:
类别
附加类别
标准
学科组
校内用户
校外用户
备注
机时
元/小时
样品数
元/样品
附加费
主要功能:
硅片、玻璃对准键合。
仪器设备开放时间:
详情请查看
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