仪器名称: 等离子燃烧干式处理机
| 仪器编号: L0255394 |
| 仪器型号: GTPD 600 |
| 购置日期: 2022-11-10 |
| 单价(万元): 27.00 |
| 厂家: 气安仕先进制造科技（无锡）有限公司 |
| 技术指标: 处理效率99%；可燃性/爆炸性气体尾气≦ 20%LEL；腐蚀性/酸硷性气体尾气≦ 1 TLV；六个进气接口，接口尺寸为KF40 ；反应温度1500度，耐高温隔热材料2000度；1个热排接口；具有液位监测液位探测器及报警切断功能 |
| 仪器介绍: |
| 存放位置：微纳系统国际创新中心灰区7 |
| 保管单位：集成电路学院 |
| 管理负责人：张东煜 |
| 共享: 不可用 |
| 预约须知: |
| 收费参考标准: |
| 主要功能: 处理工艺产生的废气 |