东南大学贵重精密仪器共享系统

1）下基片基础尺寸 3900 微米× 4300 微米，上基片基础尺寸 3400 微米× 1800 微米。 2）上、下两个基片载台采用压电模块控制，控制精度微米级，下 基片载台有加热功能，加热温度范围为室温至 85℃。 3）显微观察：显微镜物距距离 85mm，即显微镜镜筒-基片距离。 4）压力范围： 1Pa-2atm，进气气体种类氧气、氢气和刻蚀性气体， 进气管道两路。 5）真空测量采用真空计、高压测量采用数字压力计。